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全新立式高精度晶圓藍(lán)寶石片研磨減薄機(jī)

數(shù)量(臺(tái))	價(jià)格
10	29800.00元/臺(tái)

最小起訂： 1臺(tái)
發(fā)貨地址：廣東深圳市
發(fā)布日期：2024-03-08
訪問(wèn)量：285

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深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司

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聯(lián)系人：劉潔霞
手機(jī)：18588205569
電話：0755-26527403

營(yíng)業(yè)執(zhí)照：已審核
經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工-個(gè)體工商戶
所在地區(qū)：廣東深圳市
家家通積分：349分

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詳細(xì)參數(shù)
品牌	方達(dá)研磨	型號(hào)	FD200A
類型	平面磨床	自動(dòng)化程度	自動(dòng)
加工精度	高精度	動(dòng)力類型	機(jī)械傳動(dòng)
作用對(duì)象	機(jī)床	作用對(duì)象材質(zhì)	硅片,陶瓷,鍺片,砷化鎵,碳化硅等
適用行業(yè)	半導(dǎo)體晶體材料	控制形式	數(shù)控
車床大小	中小型	加工定制	是
是否庫(kù)存	是	售后服務(wù)	購(gòu)買后,有專業(yè)技術(shù)人員上門安裝調(diào)試,進(jìn)行員工培訓(xùn),
工作精度	高精密	主電機(jī)功率	2.2KW
外形尺寸	101012102070mm	重量	1200KG
產(chǎn)地	其他	布局形式	立式
安裝形式	落地式

產(chǎn)品詳情

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一、結(jié)構(gòu)

本機(jī)主要由真空吸盤、吸盤主軸、吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，磨輪，砂輪主軸、磨輪及伺服驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、磨輪進(jìn)給機(jī)構(gòu)、系統(tǒng)全閉環(huán)控制系統(tǒng)等.。

1、磨輪直徑 312mm，磨輪采用鉆石砂輪，磨輪的粒度的選型是根據(jù)客戶對(duì)工藝的要求定制。

2、磨輪主軸采用精密旋轉(zhuǎn)主軸，驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC 控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速。

3、本機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服全閉環(huán)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是磨輪的進(jìn)刀速度，控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。

二、控制方式

1、本機(jī)采用先進(jìn)的國(guó)際知名品牌 PLC 和觸摸屏，自動(dòng)化程度高，實(shí)現(xiàn)人機(jī)界面，操作簡(jiǎn)單一目了然。

2、氣壓壓力檢測(cè)傳感器，當(dāng)氣壓小于設(shè)備設(shè)置的正常加工所需的最小壓力時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止工件吸不牢。

3、砂輪扭矩控制，當(dāng)扭矩高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn)生的扭矩時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止設(shè)備異?；蛘哒`操作時(shí)撞刀損壞機(jī)器配件。

4、砂輪電流監(jiān)測(cè)，當(dāng)冷砂輪高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn)生的最大電流時(shí)砂輪回彈，回彈距離可調(diào)，防止砂輪擠壓工件造成損壞。

5、磨輪損耗量的自動(dòng)補(bǔ)償，防止因砂輪在磨削產(chǎn)品的同時(shí)產(chǎn)生的消耗影響工件的加工精度。

FD150A 減薄機(jī)

三、技術(shù)指標(biāo)：

真空吸盤尺寸：	?200mm
吸盤轉(zhuǎn)速（連續(xù)可調(diào)）:	0-300rpm/min
吸盤電機(jī)功率:	2.2KW 380V 3相
光柵控制系統(tǒng)：	分辨率0.0005mm
磨輪轉(zhuǎn)速（可調(diào)):	0-3000rpm/min
磨輪馬達(dá)功率:	5.5kw
產(chǎn)品減薄后平行度：	≦3um
磨輪最小設(shè)定步距：	0.1um/s
水箱尺寸	780480550mm
外形尺寸：	101012102070mm
重量：	1200KG

四、安裝環(huán)境：

序號(hào)	項(xiàng)目	指標(biāo)要求
1	環(huán)境	室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源
2	水源	純水或自來(lái)水
3	電源	三相五線 380V
4	壓縮氣源	0.5～0.8Mpa 消費(fèi)量 50L/min 氣壓接線口徑：φ8
5	排水	循環(huán)使用

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