電鏡氦檢漏，掃描電鏡氦檢漏, 透射電鏡氦檢漏，氦質(zhì)譜檢漏儀，真空檢漏

電子顯微鏡，簡稱電鏡，英文名Electron Microscope（簡稱EM）。電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

透射電子顯微鏡（Transmission electron microscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡 [1]，是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來。

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本公司由從事多年的真空、檢漏相關(guān)業(yè)務(wù)的技術(shù)人員組成服務(wù)團隊，可以對眾多密封性要求高的，需要檢漏測試的產(chǎn)品、設(shè)備、管線等進行氦質(zhì)譜檢漏。提供單詞檢漏服務(wù)，或者長期合作檢漏服務(wù)。

很多設(shè)備在制造的過程中或者在使用中，需要進行檢漏；很多產(chǎn)品在生產(chǎn)中或者完成后，也會需要檢漏；根據(jù)對泄漏多少的要求不同，有很多不同的檢漏方法可供選擇。用肥皂水的冒泡法、保壓法、超聲波檢漏、紅外檢漏、空氣檢漏、六氟化硫檢漏、氫氣檢漏、氦質(zhì)譜檢漏等等。如果要求檢漏過程清潔，不污染環(huán)境、工件、產(chǎn)品；可以對復雜工件進行檢漏；適合批量產(chǎn)品或超大工件檢漏；檢漏精度高……那一定是氦質(zhì)譜檢漏儀提供的氦質(zhì)譜檢漏方法。

在實際檢漏中，負壓法、正壓法、背壓法及衍生的氦檢漏方法，被廣泛使用。甚至，有時一個工件，會用到兩種或兩種以上的氦檢漏方法。選擇適合的檢漏方法，需要考慮的因素比較多，例如工藝流程、工件的體積大小、工件本身的材質(zhì)、工件的承壓、容許的漏率、工況條件、環(huán)境因素、檢測條件、時間因素、安全性、經(jīng)濟性等眾多因素。只有綜合考慮各種因素后，才能選擇出適合的檢漏方法。例如：高壓的換熱器。在換熱器生產(chǎn)中，通常會選擇負壓法檢漏，抽真空的設(shè)備可以反復使用，氦氣用量比較少，甚至可以增加氦氣回收裝置。因為換熱器的使用，是在正壓的條件下使用；在出廠前，會用正壓法檢漏，接近或模擬實際工況檢漏，更接近于實際使用環(huán)境。換熱器在使用中，維修時的檢漏，通常會選擇正壓法檢漏；換熱器使用場所不具備抽真空的設(shè)備，或者換熱器使用中，有污染殘留，不適合抽真空；此種條件下，對換熱器充入氦氣或混合氦氣，用正壓法檢漏，更適合。

檢漏方法：真空法檢漏，吸槍法檢漏，正壓法檢漏，負壓法檢漏，背壓法檢漏，噴氦法檢漏，吸氣法檢漏，壓氦法檢漏

檢漏對象：真空管路、換熱器（列管換熱器、管式換熱器、板式換熱器）、加速器、真空爐、鍍膜設(shè)備、磁控濺射設(shè)備、半導體設(shè)備、實驗設(shè)備（電鏡、光譜儀等）、實驗室管路、泵、閥、電子芯片、電池類、汽車配件、激光類產(chǎn)品、航空配件、光伏設(shè)備、光電子產(chǎn)品、電子芯片、生產(chǎn)產(chǎn)線設(shè)備、管路等（汽車配件產(chǎn)線、電池產(chǎn)線等）、壓力類產(chǎn)品（壓力罐、壓力管路等）換熱器、電廠等真空或壓力的產(chǎn)品、設(shè)備、產(chǎn)線。

氦質(zhì)譜檢漏儀：用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。