產(chǎn)品詳情
wafer debonder晶圓臨時解鍵合特點:
4”-8”/8”-12”晶圓適用,可應(yīng)對薄晶圓的解鍵合。
解鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
解鍵合機(jī)可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正。
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實現(xiàn)解鍵合(Wafer Debonding)。
晶圓解鍵合機(jī)配有高精度機(jī)械手,可自動撕除晶圓臨時鍵合所用到的膠膜。
解鍵合機(jī)可自動為晶圓貼覆切割膜。
可選配嵌入式紫外線照射模塊。
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)。
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。
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【衡鵬代理】wafer debonder晶圓臨時解鍵合相關(guān)產(chǎn)品:
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